مبدأ العمل لآلة طلاء الفراغ

آلة الطلاء الفراغي عبارة عن جهاز يقوم بترسيب أغشية معدنية رقيقة على سطح الركيزة. وينقسم مبدأ العمل الأساسي إلى ثلاث خطوات: التنظيف والتبخر والترسيب.
1. التنظيف
قبل الترسيب التبخيري، يجب تنظيف غرفة التبخر. ونظرًا لاحتمال وجود أكاسيد وشحوم وغبار ومواد أخرى ملتصقة بسطح غرفة التبخر، فإن ذلك سيؤثر على جودة الفيلم. يستخدم التنظيف عادةً طرقًا كيميائية أو فيزيائية.
2. التبخر
يتم تسخين المادة المرغوبة إلى أعلى من نقطة انصهارها بحيث تشكل جزيئات غازية. يتم بعد ذلك الهروب من الجزيئات الغازية في غرفة التفريغ إلى غرفة التبخر. وتسمى هذه العملية التبخر. تؤثر درجة الحرارة والضغط ومعدل التبخر على تكوين الفيلم وبنيته وخصائصه.
3. الإيداع
تدخل الجزيئات الغازية للمادة الموجودة في غرفة التبخر إلى غرفة التفاعل من خلال أنبوب التفريغ، وتتفاعل مع المادة النشطة، ثم تودع المنتج على سطح الركيزة. وتسمى هذه العملية الترسيب. تؤثر درجة الحرارة والضغط ومعدل الترسيب أيضًا على جودة وأداء الفيلم.
2. التطبيق
تستخدم آلات الطلاء الفراغي على نطاق واسع في علوم المواد والبصريات والإلكترونيات وغيرها من المجالات.
1. علم المواد
يمكن لآلات الطلاء الفراغي تحضير أغشية رقيقة من مختلف المعادن والسبائك والأكاسيد والسيليكات وغيرها من المواد، وتستخدم على نطاق واسع في الطلاءات والأفلام البصرية والتخزين البصري وشاشات العرض والترانزستورات وغيرها من المجالات.
2. البصريات
يمكن لآلة الطلاء الفراغي أن تقوم بتحضير أفلام معدنية وسبائكية ذات انعكاسية عالية وأفلام بصرية ذات وظائف خاصة. يمكن استخدام هذه الأفلام في الألواح الشمسية، والمجاهر الإلكترونية عالية الأداء، والهلام الهوائي، وأجهزة استشعار الأشعة فوق البنفسجية/الأشعة تحت الحمراء، والمرشحات الضوئية وغيرها من المجالات.
3. الالكترونيات
يمكن لآلات الطلاء الفراغي تحضير مواد إلكترونية نانوية وأجهزة إلكترونية دقيقة. يمكن استخدام هذه الأفلام في الترانزستورات النانوية والذكريات المغناطيسية وأجهزة الاستشعار وغيرها من المجالات.
باختصار، آلة الطلاء الفراغي لا يمكنها فقط تحضير مواد الأغشية الرقيقة المختلفة، ولكن أيضاً تقوم بتحضير الأغشية الرقيقة بوظائف خاصة حسب الحاجة. في المستقبل، سيتم استخدام تكنولوجيا الطلاء الفراغي والترويج لها على نطاق أوسع.